FEI公司申请用于测量半导体器件中的最近邻距离的方法专利，提供用于图像计量的系统或技术
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2025-06-25 19:23:59
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金融界2025年6月25日消息，国家知识产权局信息显示，FEI公司申请一项名为“用于测量半导体器件中的最近邻距离的方法”的专利，公开号CN120194635A，申请日期为2024年12月。

专利摘要显示，本公开涉及用于测量半导体器件中的最近邻距离的方法。提供了用于图像计量的系统或技术。根据各种实施方案，一种系统可包括：存储器，该存储器存储计算机可执行组件；和处理器，该处理器执行存储在该存储器中的该计算机可执行组件。该计算机可执行组件可包括测量组件，该测量组件访问包括图像内的多个形状的位置坐标的k距离数据树；以及测量该多个形状中的相邻形状之间的距离，其中该测量包括解析该k距离数据树以获得该多个形状内的最近邻形状。

来源：金融界

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