国家知识产权局信息显示,FEI公司申请一项名为“基于线的终点检测”的专利,公开号CN121994844A,申请日期为2025年10月。
专利摘要显示,制备样品供带电粒子显微镜分析的方法(例如通过提供薄片)包括从样品表面移除材料以提供新暴露的表面并确定新暴露表面上的感兴趣区域(ROI)。在样品的新暴露表面上形成多条线,并且从样品的加工表面(不同于新暴露表面)多次移除材料。对加工表面多次成像以至少捕获多条线,并且基于多条线当中两条或更多条线之间的相对空间特征确定终点。
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