FEI公司申请用于科学仪器的扫描图案专利，基于电磁干扰调整科学仪器扫描图案
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2025-05-30 14:53:23
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金融界2025年5月30日消息，国家知识产权局信息显示，FEI公司申请一项名为“用于科学仪器的扫描图案”的专利，公开号CN120072605A，申请日期为2024年11月。

专利摘要显示，用于科学仪器的扫描图案。本公开涉及用于基于电磁干扰来调整科学仪器的扫描图案的系统和方法。一个示例带电粒子仪器包括支撑样本的室、耦合到该室的柱、被配置为在该室内形成真空的泵、被配置为检测经由泵生成的电磁干扰的频率的量度的感测装置，以及包括电子处理器和存储器的控制器。该柱包括带电粒子源，该带电粒子源被配置为生成行进通过该柱并且进入该室的带电粒子束。带电粒子束根据扫描图案生成。控制器被配置为接收来自感测装置的指示电磁干扰的频率的信号，以及基于电磁干扰的频率来调整扫描图案。

来源：金融界

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