FEI公司申请电子显微镜成像系统及成像方法专利，实现成像过程中对感兴趣区域的自动功能应用
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2026-06-19 04:49:56
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国家知识产权局信息显示，FEI公司申请一项名为“电子显微镜成像系统及成像方法”的专利，公开号CN122117733A，申请日期为2025年11月。
专利摘要显示，电子显微镜成像系统及成像方法。本发明提供了用于电子显微镜成像的系统和方法，包括利用带电粒子显微镜对样品进行成像的方法，该方法包括：利用带电粒子显微镜采集样品表面的第一初始图像；在带电粒子显微镜成像过程中，接收用于一个或多个初始感兴趣区域的自动功能指令；在带电粒子显微镜成像过程中，采集样品后续表面的系列后续图像。其中，对于每个后续图像，采集所述后续图像包括曝光所述样品的相应后续表面；识别与一个或多个初始感兴趣区域相对应的一个或多个感兴趣区域；对相应的后续表面进行成像，其中对相应的后续表面进行成像包括：基于与一个或多个初始感兴趣区域相对应的至少一个已识别感兴趣区域，应用一个或多个自动功能。
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