FEI公司申请模块化光学检测平台组件专利，使得每个多极元件沿束轴彼此对齐
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2026-05-17 10:39:55
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国家知识产权局信息显示，FEI公司申请一项名为“模块化光学检测平台组件”的专利，公开号CN122051099A，申请日期为2025年11月。
专利摘要显示，本发明涉及一种光学检测平台组件，被配置为位于带电粒子系统的光学腔室内。所述光学检测平台组件包括一个限定多个开口的外壳和一个限定带电粒子束束轴的通道，以及多个光学支架。多个光学支架中的每个光学支架均包含一个基座部分，以及从基座部分延伸出的一个或多个臂。每个光学支架的一个或多个臂以可拆卸方式安装于外壳上且位于多个开口中的第一开口内，每个光学支架的基座部分被配置为可容纳一个多极元件，并且每个光学支架的基座部分位于通道内，使得每个多极元件沿束轴彼此对齐。本发明还涉及一种带电粒子系统和一种光学支架。
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来源：市场资讯
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