FEI申请操作带电粒子显微镜系统专利，使得偏转器平面被成像到检测器上
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2026-02-02 09:36:23
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国家知识产权局信息显示，FEI公司申请一项名为“操作包括束偏转器的带电粒子显微镜系统的方法和相关联的系统”的专利，公开号CN121439657A，申请日期为2025年7月。
专利摘要显示，本公开涉及操作包括束偏转器的带电粒子显微镜系统的方法和相关联的系统。在一个示例中，一种方法包括调整一个或多个光学元件以使得束偏转器的偏转器平面与衍射平面共轭，以及在衍射平面处记录衍射束图案。在另一示例中，一种方法包括将带电粒子束引导到样本，在消隐状态与未消隐状态之间转变束消隐器，以及通过检测器记录束图案。束图案包括一个或多个束图案特征，当束消隐器在未消隐状态与消隐状态之间转变时，一个或多个束图案特征在检测器平面中为基本上静止的。在另一示例中，CPM系统包括带电粒子源、在偏转器平面处的束偏转器和检测器。CPM系统被配置成使得带电粒子束在偏转器平面处表现出束交叉，并且使得偏转器平面被成像到检测器上。
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来源：市场资讯
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