FEI申请由厚HPF样品进行薄片准备专利，实现样品的高质量薄片制备
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2025-12-27 16:48:50
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国家知识产权局信息显示，FEI公司申请一项名为“由厚HPF样品进行薄片准备”的专利，公开号CN121208038A，申请日期为2025年6月。
专利摘要显示，本申请涉及用于制备样品的技术。提供了一种方法，包括使离子束朝向样品的第一表面，以对该第一表面进行第一暴露处理。该样品可以限定该第一表面以及与该第一表面相对的第二表面。该方法可以包括使该样品相对于带电粒子束系统的射束轴B旋转角度β，以使第二表面的取向设定为接收离子束。该方法可以包括使离子束朝向该样品的第二表面。该方法可以包括使该样品相对于射束轴B旋转，以使第一表面的取向设定为接收离子束。该方法还可以包括使离子束朝向该样品的第一表面，以对该第一表面进行第二暴露处理。
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