FEI申请检测和调整薄片变形专利，可基于铣削操作后的特征更改调整铣削设置
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2025-12-05 14:24:26
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国家知识产权局信息显示，FEI公司申请一项名为“检测和调整薄片变形”的专利，公开号CN121061215A，申请日期为2025年6月。专利摘要显示，本公开涉及检测和调整薄片变形。一种方法，该方法包括：使用具有第一次铣削设置的带电粒子系统，在第一次对样品进行第一次铣削操作，基于第一次铣削操作生成样品的第一幅图像，基于第一幅图像确定样品的第一组跟踪特征，使用具有第一次铣削设置的带电粒子系统，在第二次对样品进行第二次铣削操作，基于第二次铣削操作生成样品的第二幅图像，基于第二幅图像确定第一组跟踪特征的第一次更改，基于第一次更改将第一次铣削设置调整为第二次铣削设置。
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