本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。

● 中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“公司”）2024年营业收入约90.65亿元，较2023年增加约28.02亿元。公司在过去13年保持营业收入年均增长大于35%，最近四年营业收入年均增长大于40%的基础上，2024年营业收入又同比增长约44.73%。其中，2024年刻蚀设备收入约72.77亿元，在最近四年收入年均增长超过50%的基础上，2024年又同比增长约54.73%。公司为先进存储器件和逻辑器件开发的六种LPCVD薄膜设备已经顺利进入市场，2024年收到约4.76亿元批量订单，实现销售收入已达到约1.56亿元。

● 根据市场及客户需求，公司显著加大研发力度，2024年在研项目涵盖六类设备，超二十款新设备的开发。2024年公司研发投入约24.52亿元，较去年增长11.90亿元，同比增长约94.31%，研发投入占公司营业收入比例约为27.05%，远高于科创板上市公司的平均研发投入水平。公司研发新产品的速度显著加快，过去通常需要三到五年开发一款新设备，现在只需两年或更短时间就能开发出有竞争力的新设备，并顺利进入市场。

● 公司2024年度实现归属于母公司所有者的扣除非经常性损益的净利润约为13.88亿元，与上年同期（法定披露数据）相比，增加约1.97亿元，同比增加约16.52%。净利润的增长不及销售的增长，主要由于市场及客户需求，以及外部形势的变化，公司需要大量的研发投入，以确保加速补短板和实现赶超。

● 公司的员工人数在过去的13年保持了年均22%的增长，远低于销售增长速度，主要是由于公司聚焦提高劳动生产率。在2022年达到人均销售350万元的基础上，2024年人均销售超过了400万元，达到了设备产业国际先进水平。

本公告所载2024年度主要财务数据为初步核算数据，未经会计师事务所审计，具体数据以公司2024年年度报告中披露的数据为准，提请投资者注意投资风险。

一、2024年度主要财务数据和指标

单位：万元

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注：1、本报告期初数同法定披露的上年年末数。

2、以上财务数据及指标以合并报表数据填列，但未经审计，最终结果以公司2024年年度报告为准。

二、经营业绩和财务状况情况说明

（一）报告期的经营情况、财务状况及影响经营业绩的主要因素

1、报告期的经营情况、财务状况

公司2024年营业收入约90.65亿元，较2023年增加约28.02亿元，同比增长约44.73%。其中，2024年刻蚀设备销售约72.77亿元，同比增长约54.73%；MOCVD设备销售约3.79亿元，同比下降约18.03%，LPCVD设备2024年实现首台销售，全年设备销售约1.56亿元。

2024年归属于母公司所有者的净利润约16.26亿元，较上年同期减少8.93%，以及本期营业利润、利润总额和每股收益减少的主要原因：（1）2024年营业收入增长44.73%下，毛利较去年增长约9.78亿元。（2）由于市场对中微开发多种新设备的需求急剧增长，2024年公司显著加大研发力度，以尽快补国产半导体设备短板，实现赶超，为持续增长打好基础。2024年公司研发投入约24.52亿元，较去年增长11.90亿元，同比增长约94.31%，2024年研发投入占公司营业收入比例约为27.05%，远高于科创板均值。2024年研发费用14.18亿元，较去年增长约6.01亿元，同比增长约73.59%。（3）2023年公司出售了持有的部分拓荆科技股份有限公司股票，产生税后净收益约4.06亿元，而2024年公司并无该项股权处置收益。

2024年归属于母公司所有者的扣除非经常性损益的净利润约13.88亿元，较上年同期增加16.52%，本期增长的主要原因：由于2024年营业收入增长44.73%下，毛利较去年增长约9.78亿元，以及2024年研发费用较去年增长约6.01亿元。

于报告期末，公司总资产约262.29亿元，较报告期初增加21.85%；归属于母公司的所有者权益约197.49亿元，较报告期初增加10.79%。

2、影响经营业绩的主要因素

近年随着人工智能、云计算、大数据、自动驾驶等新兴产业进一步加速发展，半导体微观加工设备作为数码产业的关键基石，其市场高速发展。公司主营产品的刻蚀设备、薄膜设备是半导体前道关键核心设备，市场空间广阔，技术壁垒较高。公司的刻蚀设备及薄膜设备持续获得众多客户的认可，针对芯片制造中关键工艺的高端产品新增付运量及销售额显著提升。

公司始终强调技术创新并保持高强度的研发投入。目前在研项目涵盖六类设备，超二十款新设备的开发。公司在新产品开发方面取得了显著成效，近两年新开发的LPCVD薄膜设备和ALD薄膜设备，目前已有多款新型设备产品进入市场并获得重复性订单。其中，LPCVD薄膜设备累计出货量已突破150个反应台，其他多个关键薄膜沉积设备研发项目正在顺利推进；公司EPI设备已顺利进入客户端量产验证阶段。

公司在Micro-LED和高端显示领域的MOCVD设备开发上取得了良好进展，并积极布局用于碳化硅和氮化镓基功率器件应用的市场。

公司在南昌约14万平方米的生产和研发基地、上海临港的约18万平方米的生产和研发基地已经投入使用，支持了公司产品付运及销售快速增长的达成。同时公司生产运营管理水平不断提升，产品成本、运营费用控制能力有效增强。

公司持续开发关键零部件供应商，推动供应链稳定、安全，设备交付率保持在较高水准，设备的及时交付也为公司销售增长提供有力支撑。

（二）财务指标增减变动幅度达30%以上的主要原因说明

营业收入较上年同期增长44.73%，主要系受益于半导体设备市场发展及公司产品竞争优势。公司2024年营业收入约90.65亿元，较2023年增加约28.02亿元，同比增长约44.73%，其中刻蚀设备销售约72.77亿元，同比增长约54.73%；MOCVD设备销售约3.79亿元，同比下降约18.03%，LPCVD设备2024年实现首台销售，全年设备销售约1.56亿元。

三、风险提示

本公告所载2024年度主要财务数据为初步核算数据，未经会计师事务所审计，具体数据以公司2024年年度报告中披露的数据为准，提请投资者注意投资风险。

特此公告。

中微半导体设备（上海）股份有限公司董事会

2025年2月28日