FEI申请柱内粒子过滤器专利，屏蔽所述吸收表面免受入射在所述第二表面上的粒子的影响
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2026-03-12 02:58:18
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国家知识产权局信息显示，FEI公司申请一项名为“柱内粒子过滤器”的专利，公开号CN121641793A，申请日期为2025年8月。
专利摘要显示，描述了用于保护带电粒子检测器免受损坏的系统、部件和方法。过滤器可包括框架和碳材料膜。所述膜可限定第一表面、与所述第一表面相对的第二表面以及从所述第一表面延伸穿过所述膜到所述第二表面的光阑。所述框架可被配置为与设置在带电粒子束柱中的带电粒子检测器耦接，所述带电粒子检测器限定朝向所述第一表面定向的吸收表面。所述过滤器可被配置为屏蔽所述吸收表面免受入射在所述第二表面上的粒子的影响。所述粒子可包括电子、离子和光子。
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