FEI公司申请多输入开口环谐振器离子束源专利，提高带电粒子束系统的性能
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2026-03-05 12:40:30
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国家知识产权局信息显示，FEI公司申请一项名为“多输入开口环谐振器离子束源”的专利，公开号CN121601527A，申请日期为2025年8月。
专利摘要显示，描述了用于从气体中提取带电粒子的带电粒子束系统、部件和方法的实施例。在第一方面中，带电粒子源包括谐振器。谐振器可包括限定第一侧和第二侧的介电基底，第二侧与第一侧相对。谐振器可包括设置在第一侧上的第一传导层。第一传导层可以根据包括环部的图案设置。该图案可在第一传导层的环部中限定间隙。谐振器还可包括设置在第二侧上的第二传导层。带电粒子源还可以包括源电极。源电极可以邻近第一侧设置。源电极可偏离介电基底。
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