国家知识产权局信息显示,FEI公司申请一项名为“激光相位板的离面成像模式”的专利,公开号CN122314719A,申请日期为2025年12月。
专利摘要显示,带电粒子束系统中的相衬图像是通过将经样品调制的CPB导向相位板以使衍射平面相对于所述相位板位移获取的。基于所述图像中的干涉条纹,可以估算和调整所述CPB相对于所述相位板的横向位移。
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