FEI公司申请用于材料去层的自动化学切换专利，实现异质材料的高效去层处理
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2026-04-12 00:40:31
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国家知识产权局信息显示，FEI公司申请一项名为“用于材料去层的自动化学切换”的专利，公开号CN121839513A，申请日期为2025年9月。
专利摘要显示，本文提供了一种异质材料去层方法。本文还提供了一种方法，包括：在第一时间对多层材料进行去层处理，直到满足第一终点条件；基于满足所述第一终点条件确定对所述去层设置的更改；以及在所述第一时间之后的第二时间对所述多层材料进行去层处理，直到满足第二终点条件。本文还提供了一种非暂时性计算机可读介质，其上载有程序代码。当处理器执行所述程序代码中的指令时，所述处理器会执行以下操作，包括：在第一时间对多层材料进行去层处理，直到满足第一终点条件；基于满足所述第一终点条件确定对所述去层设置的更改；以及在所述第一时间之后的第二时间对所述多层材料进行去层处理，直到满足第二终点条件。
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来源：市场资讯
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