FEI公司申请色散光学元件中减少的BOERSCH效应专利，减少Boersch效应
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2026-01-10 09:54:36
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国家知识产权局信息显示，FEI公司申请一项名为“色散光学元件中减少的BOERSCH效应”的专利，公开号CN121306883A，申请日期为2025年7月。
专利摘要显示，本公开在各种实施例中描述了使用色散光学元件减少Boersch效应的系统、方法、算法和存储计算机可读指令的非易失性介质。带电粒子光学装置可以包括设置在束轴上的维恩滤光器。该维恩滤光器可以配置成通过色散平面中的能量使带电粒子束的粒子分散。该色散平面可以平行于束轴。该装置可以包括设置在束轴上维恩滤光器下游的光学元件。该光学元件可以配置为将带电粒子束朝向束轴聚焦。该装置还可以包括选择器。该选择器可以设置在束轴上，位于基本上对应于与光学元件下游的第三交叉平面的位置处。
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