FEI公司申请包括物镜的带电粒子显微镜及相关方法专利，改变操控电极电压调整物镜主物面位置
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2025-06-11 11:35:25
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金融界2025年6月11日消息，国家知识产权局信息显示，FEI公司申请一项名为“物镜、包括该物镜的带电粒子显微镜以及相关方法”的专利，公开号CN120126987A，申请日期为2024年11月。
专利摘要显示，本文公开了物镜、包括该物镜的带电粒子显微镜以及相关方法。物镜能够包括透镜主体、屏蔽电极和操控电极。该物镜被配置为使得改变操控电极电压调整物镜的主物面的位置，从而改变物镜的聚焦工作距离。方法能够包括相对于物镜定位样本，并且操作该物镜以将带电粒子束聚焦到聚焦位置。
来源：金融界
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